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円形(角度*)エンコーダは、さまざまな機械や装置で使用できます。ロータリー エンコーダは、位置測定リードヘッドと、ロータリー エンコーダの円筒面またはディスク面に刻まれた精密スケールで構成されています。リードヘッドは、一定間隔のスケール マークを光学的に感知し、この情報からアナログまたはデジタル信号として送信することで位置を測定します。その後、信号はデジタル ディスプレイ(DRO)またはモーション コントローラを介して位置読み取り値に変換されます。
回転式コンピューター・ツー・プレート(CTP)プリプレス、工作機械の A、B、C 軸、表面実装機、形状測定システム、ウェーハ処理および検査装置、ゴニオメーターなど、多くの最新の自動化システムでは、正確な回転動作が求められます。アプリケーションによって、機能を最適化するためにエンコーダの性能と機能のさまざまな組み合わせが必要になります。精度が求められるものもあれば、速度ループ制御の繰り返し性、高解像度、または低周期誤差が求められるものもあります。技術仕様と機能の最適なバランスを提供するエンコーダを選択することは困難であり、すべての要件を満たすエンコーダはほとんどありません。
精密なモーション制御は、システムの精度と動的応答に依存します。正確な位置測定は重要ですが、正確な位置制御がなければシステムは適切に動作しません。ダイレクト ドライブ ロータリー モーター、またはトルク モーターは、非常に小さな角度範囲で高トルクと高精度のサーボ制御を提供します。負荷はドライブ モーターに直接結合されるため、バックラッシュ、ヒステリシス、ギア エラー、またはベルトの伸びを引き起こす可能性のあるトランスミッション コンポーネントをインストールする必要がなく、優れた動的応答が得られます。大口径トルク モーターのフレームレス構造には、シャフト エンコーダーを取り付けるための明確なカップリングがありませんが、リング エンコーダーはシンプルなソリューションを提供します。さらに、ロータリー エンコーダーは負荷のようにドライブ モーターにしっかりと結合できるため、システム内の不要なギャップがなくなります。どのような測定システムや制御システムでも、エンコーダーをドライブ モーターにできるだけ近づけることが望ましいです。これにより、サーボ帯域幅が増加するにつれて特に、サーボ性能に影響を与える潜在的なシャフト共振を最小限に抑えることができます。
ロータリー エンコーダは、正確な角度位置フィードバックを提供するための優れたソリューションです。モーターの選択と同様に、適切なロータリー エンコーダを選択するには、エンコーダの精度に影響を与える要因を理解し、実際の仕様に基づいてパフォーマンスの欠点を克服する方法を十分に理解する必要があります。ロータリー エンコーダを選択するときは、精度と解像度に加えて、データ レート、システム サイズ、複雑さ、コストなどのさまざまなパラメータを考慮するのが賢明です。今日では、リニア グレーティングは数十ナノメートルの精度と解像度で測定できますが、ロータリー グレーティングはコーナー秒内で測定できます。10 セント秒は非常に小さな角度です。
• 半径1mmで円弧の長さ206.25μmに相当する角度として表すことができます。
• 地表の 30 メートルの距離と地球の中心との間の角度として表すことができます。
• 1.3 rpm で 1 MHz のデータ レートを実現します。
必要な測定性能を決定する際には、精度、解像度、再現性を考慮すると役立ちます。
高い再現性が求められるアプリケーション(ピックアップ装置など)では、個々のテーブル角度の精度よりも、同じ格子カウント位置でのシステムの繰り返し停止の方が重要です。
連続的にスムーズな動作を行うには、選択されたエンコーダの解像度と精度により、制御サーボ帯域幅内でジッタ エラーが発生しないようにする必要があります。
天体望遠鏡などの動きの遅いデバイスの場合、システムの最大データ レートよりも正確な角度測定の方が重要です。
高速システムの場合、速度と位置決め精度の間でトレードオフを行う必要がある場合があります。ピッチの厚い (目盛りが少ない) 格子は高データ レートに適していますが、ピッチの細かい (目盛りが多い) 格子では、通常、細分化エラーが低くなります。
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